Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Серов Александр Алексеевич. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.12.- Москва, 2001.- 232 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/537-5
