Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники Аккулов Руслан Иршатович

Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники
<
Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники
>

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Аккулов Руслан Иршатович. Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Аккулов Руслан Иршатович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2007.- 219 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/4165

Введение к работе

Актуальность темы. Современное развитие микроэлектроники связывают с изготовлением кристаллов больших площадей с минимальными топологическими размерами структур. Такое сочетание требует предельно высоких точностей и чистоты производства, усложнения технологических операций и средств защиты от привносимой дефектности, увеличения продолжительности обработки и пути прохождения п/п пластинами всего технологического маршрута до нескольких десятков км. Выполнение таких работ может быть решено только на основе комплексной автоматизации и механизации производства изделий электронной техники (ИЭТ) и внедрения новых прогрессивных технологий. В частности "безлюдных" технологий -типа гибких автоматизированных линий (ГАЛ), объединенных транспортной системой в единый комплекс из нескольких унифицированных технологических модулей для обработки пластин, с загрузкой, хранением и выгрузкой без участия оператора.

Важную роль в автоматизированном производстве ИЭТ играет транспортная система, поскольку межоперационные перемещения сопровождают пластины от начала и до конца технологического маршрута. Увеличение пути транспортирования пластин в межоперационном цикле повышает вероятность появления дефектов на них от возможных выбросов загрязняющих частиц (34) транспортирующими агрегатами ТС. Поэтому межоперационный транспорт микроэлектроники (МЭ) должен обладать не только надежностью в работе, но и обеспечивать отсутствие привносимой дефектности на пластинах в процессе их перемещения в ТС.

Транспортирующие агрегаты ТС МЭ должны обладать работоспособностью, в том числе в вакуумированных объемах, функциональной пригодностью, простотой конструкции и легкостью в обслуживании, низкую стоимость и возможность обеспечения гибкого маршрута. Таким качествам в большей мере отвечают пассиковые агрегаты (ПА) ТС МЭ.

Однако малая изученность ПА - этого нового вида транспортирующих устройств, отсутствие широких исследований и общей теории, отражающей ее специфические особенности, отсутствие технических норм для проектирования и эксплуатации ограничивает возможности создания современных ТС ГАЛ с такими агрегатами. Поэтому разработка и исследование конструкционных основ создания

и методов и совершенствования транспортных систем МЭ является актуальными.

Целью работы является исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем микроэлектроники по производству ИЭТ при выполнении следующих задач исследования:

- разработать классификацию пассиков, изучить и уточнить
необходимые для проектирования и эксплуатации характеристики
наиболее перспективных пассиков - по механическим, упругим,
реологическим свойствам и интенсивности изнашивания;

исследовать закономерности взаимодействия ветвей пассикового агрегата с роликами и транспортируемыми объектами и установить влияние параметров взаимодействия на работоспособность деталей, эксплуатационные показатели ТС и интенсивность выделения 34 элементами пассиковых агрегатов;

исследовать механизмы генерации загрязняющих частиц в парах "пассик-ролик" и "пассик - транспортируемый объект" и составить зависимости для оценки интенсивности пылегенерации этими парами;

- обосновать технические нормы и составить методики для
проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных
систем ГАЛ микроэлектроники.

Методы исследования. В работе проведено комплексное теоретическое и экспериментальное исследование. Руководящим принят теоретический метод исследования, базирующийся на положениях фундаментальных наук по прочности, теории механизмов и деталей машин, по трению и изнашиванию твердых тел и проектированию механизмов.

Экспериментальная часть работы выполнена на оборудовании для определения стандартных свойств материалов, а также с применением электротензометрии и виброизмерительной техники, долговременных статических испытаний и сравнительных испытаний на износоустойчивость. Созданы оригинальные установки, стенды, приспособления и приборы. При численном анализе использована ЭВМ.

Научная новизна работы заключается в комплексе теоретических и экспериментальных исследований, отражающих специфические особенности межоперационных транспортных систем МЭ с пассиковыми агрегатами на базе которого:

- разработана классификация пассиков, обоснованы критерии и
методика выбора из наиболее перспективных рационального типа
пассика для конкретных ТС;

установлены закономерности деформаций и уточнены
эксплуатационные характеристики наиболее перспективных

комбинированных тяговых органов для пассиковых агрегатов;

уточнены закономерности взаимодействия элементов пассиковых агрегатов и установлено влияние параметров ПА на эксплуатационные показатели транспортных систем МЭ;

установлено, что из-за изгибной жесткости пассиков в местах сбегания их с роликов возникают реактивные силы, которые в сочетании с максимальной скоростью скольжения, образуя пары трения, генерируют загрязняющие частицы изнашивания, по интенсивности пылегенерации не только соизмеримые с выбросами загрязнений из других кинематических пар, но и превосходящие их в разы - этот важный факт для чистых производств не нашел освещения в общей теории механизмов с гибкими звеньями;

выявлено, что механизмы генерации загрязнений парами «пассик-ролик» и «пассик-транспортируемый объект» могут быть описаны на основе положений теории усталостного изнашивания твердых тел, что важно для составления необходимых зависимостей для оценки интенсивности пылегенерации пар трения еще на этапах проектирования;

- обоснованы технические нормы и разработаны методики для
проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных
систем ГАЛ микроэлектроники.

Практическая значимость работы заключается в следующем:

1. В результате проведенных испытаний различных типов пассиков
установлены наиболее перспективные типы, для которых определены
необходимые для расчетной практики основные параметры - пределы
прочности аер, модули упругости Е, коэффициенты Пуассона д,

предварительные напряжения о0, реологические компоненты =#А ^пл = /(0 и ДР-

2. Систематизированы сведения по конструктивному исполнению,
свойствам и ассортименту наиболее перспективных отечественных
пассиков и пассиков иностранных фирм - производителей
(Швейцария, Германия, Словения, Япония и др.).

3. Разработки в виде инструкций, методических указаний и рекомендаций, технические нормы и методики для проектирования и эксплуатации, переданы конструкторам и эксплуатационникам для практического использования. Результат работы используется в учебном процессе при чтении разделов курсов «Детали машин» и «Методы и средства измерений, испытаний и контроля», в том числе и в лабораторных работах.

На защиту выносятся:

1. Результаты обобщений по систематизации и классификация
тяговых органов и исследование их свойств, применительно к условиям
эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем
микроэлектроники.

2. Результаты исследований по взаимодействию ветвей пассиков с
роликами и транспортируемыми объектами и обобщений по влиянию
параметров взаимодействия на эксплуатационные показатели
транспортных систем МЭ.

3. Результаты исследования механизма генерации загрязнений
парами «пассик-ролик» и «пассик - транспортируемый объект»,
анализа и оценки влияния различных параметров ПА на интенсивность
пылегенерации этими парами.

4. Технические нормы и методики проектирования и эксплуатации
пассиковых агрегатов, обеспечивающих работоспособность и чистоту
транспортных систем микроэлектроники.

Достоверность результатов обусловлена не противоречием исходным положением фундаментальных наук в области прочности, теории механизмов и деталей машин, теории трения и изнашивания, подтверждаются проверками на адекватность по экспериментальным данным и сравнениям с известными решениями в литературе, в том числе допускают правильный предельный переход к известным из литературы более простым частным случаям.

Апробация работы. Основные положения работы докладывались и обсуждались на конференциях:

10-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2003» Москва 2003;

11-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2004» Москва 2004;

12-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2005» Москва 2005;

V-я Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика - 2005» Москва 2005;

13-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2006» Москва 2006.

Публикации. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 12 печатных работах в научно-технических журналах, сборниках научных трудов и тезисов докладов.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, пяти глав, общих выводов и приложений. Общий объем составляет 212 страниц, в том числе 173 страниц основного текста, 39 рисунков, 11 таблиц и списка литературы из 107 наименований, в том числе 15 на иностранном языке.

Похожие диссертации на Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники