Введение к работе
Актуальность .теми. Летучие алкоксида металлов M(OR)x (М = металл валентности х', н = алкил), находят широкое применение в технологии высокочистых металлов, оксидов металлов и материалов на их осново. Перспективные области их применения- - электронная техника, волоконная оптика, керамика. Чистота, материалов, получаемых из алкок-сидов металлов методами золь-гель,, химическим и плазмохимическим осоаданием из паровой фазы, в, значительной мере зависит от чистоти исходных веществ. Содержание примесей красящих металлов в них не должно.превышать 1*іО-5-5*1Q~^ масс.%,'углерод-, хлор-, серосодер-
Г.ВДИХ Примесей - 1*10 -1*Д0~Т(іаС0.Ж. В СВЯЗИ С ЭТИМ ПОВЫШеНИЭ Э()>-
фэктивности существующих и разработка новых методов глубокой очистки алкоксвдов металлов является важнейшей задачей.
Разработанные технологические схема получения высокочистых олкоксядов в, si, Go, As, Sb, основанные на сочетании катодов син-теза п высокоэффективной ректификации, не всегда обеспечивают, необходимую чистоту продукта. Одним из наиболее перспективных путей ее повішення является прикзпенка адсорбционного метода в общей схоме ктяиаксной глубокой,очистки этих веществ.
' Особенно актуально- применение адсорбционных методов очистки и . разделения в связи с проблемой взаимного загрязнения алкоксидов при.использовании единой блочяо-модулъной аппаратура для их производства в гибких химико-технологических схемах", а.таюсе для удаления примесей хлорзамещеншос углеводородов. Так» после ректификационной очистки содержание в алкоксидах бора хлорзамещенных углеводородов достигает 5*ю~2.!лас.*, з алкоксидах мышьяка - 5»Ю нао.ї, Цель работа. Целью данного исследования является разработка фазико-хиднчэеких основ адсорбционного метода глубокой очистки летучих алкоксидоз в, si, Ge. аз от примесей других алхоксидов металлов lll-v групп и"х'лорзамещенннх углеводородов.
Научная новизна работа. Изучена статика я динамика адсорбции индивидуальных алкоксвдов Б. Si. Ga, Ао ы бинарных смэсей на их осново на микропористых адсорбентах.
Экспериментально доказано подобие' характеристических кривиз.
адсорбции алкоксвдов кеталлов на микропористых углях. Опредэлэш
окспериментальнае значения коэффициентов подобия для алкоксвдов в,
Si, Ge, As, которые значительно отличаются от значений, расчитан-
кнх из парахоров. .
В системах триэтоксиарсЕН - тетреэтоксисилан-- уголь БАУ и трнэтоксибор - тегразтоксксклак - угс.пь БАУ исследована темпера-
*
гурные и концектрвдаонне зависимости коэффициентов разделения и равновесия. Показана возможность априорного расчета параметров адсорбционных равновесий смесей алкоксвдов элементов it.i-iv групп го експериментальним данным, полученным для смесей алкоксвдов элементов, v-rv групп.
Разработаны методики расчета коэфВщ^Нгов разделения и коэф
фициентов дайфузм да алкоксіщов металлов кз данных динамических
адсорбционных опытов. . . .
Определены коэффициенты разделения триэтоксиэрсина, триэток-сябора с лявдтирущЕШ ыикропримесями хлорорганических соединении на различных микропористах адсорбентах.
Изучены закономерности динамики адсороцш алкоксидов металлов и примесей на микропористых углях. Установлено, что лимитирующей стадией является внутренняя'диффузия. С помощью математического моделирования определена коэффициенты диффузии.
Практическая значимость пзбога. Разработаны физико-химические основы адсорбционного метода глубокой очистки летучих алкоксидов металлов iri-v групп.
Разработаны методики прямого газохроматографического опредэ-
ления содержания примесой хлорзамоцошшх углеводородов в алкокси-дох металлов но уровне ю~4 маси. .
Показана эффективность адсорбционной очистки алкоксидов от лимитирующих микропримесоЯ хлорзсчлэщошшх углеводородов : в(ос2н5)3 от' 1,2-с2н4С12, (коэф$ициент адсорСциошюго разделения а=3.і), as(oc,h5), от с2сі. (СМ.7К а также от примесей алкоксидов других элементов.
Результаты исследований по глубокой адсорбционной очистко алкоксидов бора и мшпьяха внедрены на. опытном производстве НПО ИРЕА. Апробация работы. Основное содержание работы доложено на VII и viii Всесоюзно* конференции по методам получения и анализа высоко-чистых веществ (г.Горький, 1985 и 1988 гг,), коїшурсе молодых ученых ИОКа РАН (1387, 1383гг.).
Публикации по теме. По теме диссертации опубликовано 7 печатных работ (5 статей, 2 тезисов докладов).
Объем и структура работа. Диссертация гологена на 137 страницах машинописного текста, включает 22 таблицы и 58 рисунков. Состоит из введения, 5 глав,, выводов, списка* цитируемой литературы (103 наименования) и прилоз-эйия.