Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии Макогон, Юрий Николаевич

Для уточнения возможности получение электронной копии данной работы, отправьте
заявку на электронную почту: info@dslib.net

Макогон, Юрий Николаевич. Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.07.- Киев, 1993.- 42 с.: ил.