Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении Радькова Наталья Олеговна

Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении
<
Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении
>

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Радькова Наталья Олеговна. Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении : Дис. ... канд. техн. наук : 05.02.08, 05.03.01 : Брянск, 2004 170 c. РГБ ОД, 61:05-5/1356

Введение к работе

АКТУАЛЬНОСТЬ ТЕМЫ: В современной промышленности наряду с другими материалами широко используется кремний. Детали из кремния применяются в самых различных приборах, в том числе в солнечных батареях, которые используются как в космической отрасли, так и в автомобилестроении в качестве источников электрической энергии.

Основой для изготовления изделий из кремния является кремниевая пластина. Значительное число кремниевых пластин не выдерживает весь технологический цикл и разрушается из-за низкой механической прочности вследствие образования трещин и появления остаточных напряжений в их поверхностном слое. Несомненно, снижение механической прочности пластин может быть обусловлено операциями, связанными с выращиванием слитка кремния и механической обработкой.

В этой связи важным является контроль качества кремниевых пластин как на начальном этапе производства, так и после каждой технологической операции. Анализ методов контроля показал, что ни один из них практически не может быть использован для оперативного определения прочностных свойств пластин. В исследованиях было установлено, что при импульсном механическом воздействии на кремниевую пластину вокруг последней возникают изменяющиеся электромагнитные поля. В этой связи целесообразно использование данного явления для контроля качества кремниевых пластин.

Актуальным является также проведение исследований по изучению влияния методов механической обработки на прочность кремниевых пластин, а также разработка рекомендаций по повышению их качества.

ЦЕЛЬ РАБОТЫ: повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении.

Для достижения поставленной цели следует решить следующие задачи:

  1. Провести теоретические и экспериментальные исследования влияния технологических методов обработки на механическую прочность кремниевых пластин.

  2. Провести теоретические и экспериментальные исследования влияния остаточных напряжений на механическую прочность кремниевых пластин

  3. Разработать метод неразрушающего контроля качества кремниевых пластин на основе проведения исследований электромагнитного излучения при их механическом нагружении.

  4. Разработать практические рекомендации по повышению механической прочности кремниевых пластин при их изготовлении.

ОБЪЕКТОМ ИССЛЕДОВАНИЯ являются кремниевые пластины, процессы их механической обработки, а также процессы электромагнитного излучения кренмиевых пластин при механическом ІсрдайядаїиоалякнАЯ |

| БИБЛИОТЕКА |

1 g5M

  1. Установлено, что прочность кремниевых пластин обусловлена размерами микротрещин, образовавшихся при механической обработке.

  2. Впервые на основе энергетической теории прочности получены теоретические уравнения, позволяющие оценить влияние зернистости инструмента и величины остаточных напряжений на механическую прочность кремниевых пластин.

  3. Впервые установлено, что в пространстве, окружающем кремниевую пластину, при ее механическом возбуждении возникает электромагнитное поле, качественные характеристики которого связаны с дефектами структуры.

МЕТОДОЛОГИЯ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ. Методологической основой работы является системный подход к изучению и описанию взаимосвязей прочностных свойств кремниевых пластин с условиями их обработки. Теоретические исследования базируются на теории АА Гриффитса и его последователей. Экспериментальные исследования основываются на современных методах определения механической прочности дефектного слоя и регистрации электромагнитных сигналов кремниевых пластин, а также современных методах математико-статистической обработки экспериментальных данных.

Похожие диссертации на Повышение механической прочности кремниевых пластин путем снижения трещинообразования при их изготовлении