Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров Кузьмичев, Андрей Валентинович

Данная диссертационная работа должна поступить в библиотеки в ближайшее время
Уведомить о поступлении

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Кузьмичев, Андрей Валентинович. Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21.- Москва, 1995.- 23 с.: ил.

Похожие диссертации на Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров