Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Мухамедханов, Улугбек Тургудович. Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни.- Ташкент, 1989.- 22 с.: ил. РГБ ОД, 9 90-2/2432-9
