Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Исследование математической модели восстановления эффективного показателя преломления плавнонерегулярного тонкопленочного волновода по результатам лучевого зондирования Беляков, Глеб Вячеславович

Данная диссертационная работа должна поступить в библиотеки в ближайшее время
Уведомить о поступлении

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Беляков, Глеб Вячеславович. Исследование математической модели восстановления эффективного показателя преломления плавнонерегулярного тонкопленочного волновода по результатам лучевого зондирования : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.02 / Российский ун-т дружбы народов.- Москва, 1992.- 15 с.: ил. РГБ ОД, 9 92-3/974-5

Введение к работе

Появление оптических квантовых генераторов привело к формированию в конце 60-х годов нового научно-технического направления -оптоэлектроники (используются также названия интегральная оптика, пла-парная оптика). В оптоэлектрониже взучаїг-са электромагнитные явлена , происходящие при распространении света втотжих слоях прозрачных материалов-, а тахже вопросы кс-цструированиа тояхопленочнъгх волноводов с зъдга-

НЫМП CI ЙСТВ-.iMf.

Важным и широко расггрооу<теняым классе** атементов интеграль-нооптичесих устройств является класс тонкопленочі^гх волноводных линз ("ВЛ) [1]. Одно из назначений ТВЛ состоит в коллимации световой волны, распространяющейся вдоль волноводного слоя. Эффект коллимации может быть обеспечен за счет изготовления волноводного ело» ее спегдадаитым распределением толшины [2].

Фокусирующие свойства волновода существенно' зависят от степеют соответствия изготовленного покрытия требуемым характеристикам-.. Для отладки процесса создания высококачественных безаберрадиоппъг* линз необходим неразрушаюший точный количественны* контроль, фоку-. сируюших евліісгв ТВЛ, называемый диагностикой. Диапгосптха ТВЛ доэт>-жиа по ланным измерений не только ответите йа вопрос, обладает ил» нет произведенный образец заданными свойствами^ ПО'* выяснеть» » какой* сте-

пени не обладает и какие необходимы изменения процесса для производства высококачественных линз.

Традиционные методы диагностики: прямое прог^члометрнро-вааие (измерение физической толщины волноводного слоя в центральном . сечении линзы), профилоинтерферометрия (измерение оптической толщины волноводного слоя в центральном сечении линзы), интерферометрия (измерение оптической толщины волноводного слоя в области утолщения), - обладают рядом недостатхов, основным нз которых является дополнительная модельная ошибка из-за пересчета измеряемых величин в оптические характеристики волновода.

Поэтому актуальной является задача разработки новых способов диагностики, не связанных с измерением толщин, а также соответствующих и* математических моделей.'

Содержание данной диссертации составляет теоретическое исследова ние и дальнейшее развитие способа диагностики, основанною на а гализі видимых траекторий световых лучей в изучаемой ТВЛ. Такой способ дн агностики получил название лучевого зондирования [3].

Лучевое зондирование заключается в следующем: вдоль волновод

ного слоя пропускается семейство параллельных на входе зондирующих лу

чей - узких лазерных пучхов. В однородном тонкопленочном волново;

свет распространяется вдоль волноводного слоя без искажений. В той чі

ста волновода, где имеется локальная неоднородность в толщине волноводне 2

пленки, лучи света искривляются (Рпс.1). Наличие в волиоводной пленке мелкозернистых неоднородностей размером порядка длины волны ^лета. используемого для зондирования, приводит к тому, что часть света рассеивается в пространство над волноводом, и j._ чи становятся видимыми сверху. Следы лучей можно сфотографировать или зарегистрировать с помошыо ГСЗС матрицы (с постоянной зарядовгл связью). Координаты точек лучей щифровываются, и дальнейшая обработка прої дится с помогді ю ЭВМ.

-г srr-

ис. 1J Схема прохождения лучей через тонкопленочную волноводную линзу.

Цгльлабосы»

Обчшя цель работы - исследование математической модели неразру-

аюгаек диагностики тонкопленочных полноводных линз для способа лучг-

)го зондирования и разработка математических методов и устойчивых

алгоріггмов для дкагыостики различных ТВЛ способом лучевого зондлров;гіоя, в том числе лннз, не обладающих симметрией ' »..> конкретизуется в следующих пунктах:

  1. Математическая постановка и исследование задачи диагностики тонкопленочных волноводкых линз по данным лучевого зондирования включая вопросы существования и единственности решения такой зад ічи.

  2. Разработка устойчивых методов решения задачи диагностики ТВЛ по данным о следах зондирующих лучей, применимых как для централь-иоснмметричных линз, так и для линз, не обладающих центральной симметрией. Алгоритмизация этих методов.

  3. Исследование модели разработанного способа диагностики методом вычислительного эксперимента для выяснения границ его применимости и формулировки рекомендаций по методике получения данных о следах зондирующих лучей в ТР Л.

Научная новизна. ...

Б диссертации исследована задача восстановления оптических характеристик ТВЛ по данным лучевого зондирования и сформулированы условия, при которых задача имеет единственное решение. Разработан новый устойчивый способ математической обработки результатов лучевого зондирования, отличающийся от ранее известных тем, что, во-первых, он применим к линзам различного ті'па, в том числе не обладающим симметрией, и 4

во-вторых, обеспечивает более высокую точность восстановления оптических характеристик ТВЛ при типичных значениях уровня шума в данных.

Пракшаесііаалешіосіь»

Разработанный на основе результаї з диссертации комплекс программ-но-матемаліческого обеспечения для диагностики топкопленочных полноводных линз по дискретным даш 'м о следах лучей реализован на алгоритмическом языке Turbo-Pascal ипозвочяет проводит» расчеты ».„ любых IBM-совместимых персональных компьютерах.

Возможно использование созданного программно - математического к^мапекса на ЭВМ, сопряженной с измерительной аппаратурой. В этом случае разработанный метод диагностики может служить средством оперативного нсра рушаюцего контроля ТВЛ в процессе их изготовления.

Разработанный метод диагностики одинаково пригоден для следующих типов волноводмых линз: во-первых, - для тонкопленочных полноводных линз лгомеберговскот типа (в планарных линзах этого типа искрммлепне лучей и их фокусировка достигается за счет изменения толщины віілчоііплііг.іо слои ни плоской подложке); во-вторых, - для градпент-ин:; линз, фокусирующие свойства которых обеспечиваются за счет химической неоднородности полноводного слоя постоянной толщины на плоской подложке; п-треіміх, - для геодезических линз, в которых фокуси-. рові.:і достигается за счет искривления поверхности с однородным по

толці'КЄ и химическому сос;иьу слоем ПОЛНОВОДНОЙ пленки, вдоль которой расщюстраняегся сиетов<ія волна.

Оошпн'ыг результаты диссертации опублнкоьани в 7 работах, перечень которых приводен конце автореферата.

Результаты диссертации докл^дьівіілись на:

Научных семинарах кафедры теоретической физики РУДН (Москва, 1 МО-1992 гг.)

Научных конференциях факультета физико-математических и естественных иаук РУДН (Москва, 1900-1992 гг.)

II Всесоюзной конференции ''Вычислительная физика и мате» магическое моделирование" (Волгоград, 1989 г.)

Конференциях молодых ученых и специалистов РУДН (Москва, 1990-1992 гг.)

іруіііура и обьем-двесертаикя!

Диссертация состоит из введения, трех глав, заключеиия и списка

литературы. Объем диссертации - с + страниц. Список литературы включает в

себя 100 наименований. 6

Похожие диссертации на Исследование математической модели восстановления эффективного показателя преломления плавнонерегулярного тонкопленочного волновода по результатам лучевого зондирования