Введение к работе
АкТУ95ьность_проблемы В ускорении научно-технического прогресса большое значение придается расширению промышленного использования новых материалов, в том числе соединений: оксидов, карбидов, нитридов Большие возможности для реализации данной задачи закличагтся в применении новых технологий. В полной мере это относится к такой области промышленности, как тонкопленочное производство.
Технология и оборудование в этой области быстро развиваются и совершенствуются. Разработка новых технологических процессов, позволявших получать материалы с заданными свойствами, является одним из главных направлений такого развития. В своп очередь решение этой задачи требует новых исследований в различных областях науки и техники.
Нитрид алюминия - один из перспективных иатериалов. сочетавши в себе ряд ценных для практического использования физико-химических свойств. Тонкие пленки нитрида алюминия (ТП A1N) находят применение в качестве пьеэопленок. диэлектрических слоев, пассивируюапх покрытий, злектроношаблонов. просветляюцих покрытий кварцевой оптики и др. В настояцее время в технологии получения ТП A1N отсутствуют методы, отвечающие требованиям их широкого промышленного использования: простая техническая реализация; воспроизводимость, т.е. воэмохность перенесения технологаи получения ТП A1N на другие установки; экопогяческая чистота.
В связи с вышеизлогенныи исследованпе новых процессов получения ТП А1Н представляет научный и практический интерес.
Ц?5ь.и_задачи_ялссертацпонной_работы. Цель данной работы -исследование новых процессов синтеза ТП А1Н - термического азотирования СТА) пленок частого алвкания п вакуумного реактивного испарения СРЮ конденсированной фазы нитрида алюминия.
В работе были поставлены следующие задачи: - разработка и создание на основе результатов исследования указанных выше процессов методов получения ТП AIM, сочетающих простоту простоту практической реализации при использовании стандартного. широкораспространенного технологического оборудования. воспроизводимость, экологическую і чистоту и обеспечивающих электрофизические и оптические свойства получаеыых\
пленок, характерные для пленок данного соединения;
- исследование электрофизических и оптических свойств получаемых
пленок.
Научная_новизна. Разработаны и созданы новые методы получения ТП А1Н : метод термического азотирования пленок чистого алюминия (Авторское свидетельство, N 1415804) и метод реактивного вакуумного испарения твердой фазы нитрида алюминия (Авторское свидетельство N1716813).
Предложен и рассмотрен механизм образования ТП A1N на твердой поверхности при реактивном испарении нитрида алюминия, заключающийся в фотоактивации адатомов алюминия резонансным излучением атомов алюминия, образующихся на испарителе при термической диссоциации нитрида алюминия.
Получены данные по электрофизическим и оптическим свойствам полученных ТП A1N при комнатной температуре.
Практическаяценность. Разработанные методы получения ТП A1N позволяют использовать в качестве подложек широкий класс материалов (как диэлектрических, так и проводящих), являются простыми в практической реализации, легко воспроизводимыми. экологически чистыми. Они могут быть использованы для получения защитных покрытий, пассивирующих и диэлектрических слоев, а также оптических просветляющих покрытий. Результаты настоящей работы (использование метода термического азотирования) легли в основу разработки и изготовления графитовых нагревателей с защитным покрытием из AIM.
Предложенный механизм образования ТП A1N (при реактивном испарении), заключающийся в фотоактивации адатомов алюминия, может быть использован при разработке методов получения ТП A1N со скоростью образования до 1000 8/ыин. и более.
Апр^а^я^боты. Результаты диссертационной работы докладывались ва XI Всесоюзной копферккция по проблеме "Конструкция и технология получения изделий из неметаллических нитридов" (Обнинск, 1988 г.), на Юбилейной конференции ИВТАН 1988 г., ва научных семинарах лаб. 38 а ва объединенном ыежотдельском семинаре ЮТ РАН.
Публикации. Основное содержание выполненных исследований отражено в работах /1 г 4/.
^ТЕЇЇГГЇИ-І-^^*?^-^?0- Диссертационная работа состоит вз введениям трех глав. выводов, списк? литературы (126 наименований) и приложения, содерх/т 14! -гграницу. с2- ггсунков'. 2
таблицы.