Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы Голишников Александр Анатольевич

Данный автореферат диссертации должен поступить в библиотеки в ближайшее время
Уведомить о поступлении

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Голишников Александр Анатольевич. Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 167 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2667-4

Похожие диссертации на Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы