Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Пирометрические зонды на основе карбида кремния Карачинов Дмитрий Владимирович

Пирометрические зонды на основе карбида кремния
<
Пирометрические зонды на основе карбида кремния Пирометрические зонды на основе карбида кремния Пирометрические зонды на основе карбида кремния Пирометрические зонды на основе карбида кремния Пирометрические зонды на основе карбида кремния
>

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Карачинов Дмитрий Владимирович. Пирометрические зонды на основе карбида кремния : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Великий Новгород, 2006 250 с. РГБ ОД, 61:06-5/2646

Введение к работе

Актуальность темы. Применение новых широкозонных полупроводниковых материалов в твердотельной электронике позволяет создавать приборы, компоненты, сенсоры надежно работающие в экстремальных условиях эксплуатации. Карбиды, силициды и нитриды ряда металлов и полупроводников представляют традиционный интерес для решения задач, связанных с измерением температур раскаленных газовых потоков, при проведении исследований в области газовой динамики, а также при диагностике различных технических систем.

Среди известных тугоплавких соединений особую актуальность для пирометрии приобретает карбид кремния, который в силу своих уникальных физико -химических свойств нашел в настоящее время широкое применение в оптоэлектронике, приборах и устройствах высокотемпературной электроники. В рамках современной телевизионной пирометрии с использованием специальных SiC -зондов, выполняющих роль регулярных оптических меток, возможно создание метода измерения распределения температур в выделенных сечениях газового потока. Для решения поставленной задачи требуется проведение целого комплекса исследований.

Поток раскаленного газа оказывает всестороннее воздействие на пирометрический зонд, которое в условиях высоких температур, значительных механических нагрузок, протекания химических реакций способствует ранней деградации и даже его разрушению. Поэтому важным этапом исследований является оценка тепловой, механической прочности зондов с учетом условий эксплуатации, особенностей конструкции и выбранных материалов.

Точность измерения температуры газового потока с помощью пирометрического зонда зависит не только от предела основной и дополнительной погрешностей телевизионного пирометра, а в равной мере и от условий измерения. В связи с этим возникает задача определения методической погрешности, обусловленной процессами теплообмена.

Экспериментальные исследования излучательных и тепловых характеристик зондов представляют научный и практический интерес, который связан прежде всего с апробацией метода измерения температуры, а также с новыми знаниями о температурных полях сложнопрофильных, малоразмерных изделий на основе широкозонных полупроводниковых материалов в экстремальных условиях эксплуатации. Результаты таких исследований являются базой не только для оптимизации конструкций пирометрических зондов, но и других SiC- приборов

2 высокотемпературной электроники.

Целью данной диссертационной работы является разработка метода измерения температуры нагретых газовых потоков, построенного на использовании пирометрических зондов на основе карбида кремния.

Задачи диссертационной работы:

  1. В рамках телевизионной пирометрии разработать метод регулярных оптических меток и новый класс зондов - пирометрические зонды (тепловые микроизлучатели). Построить модель и оценить погрешность измерения температуры с помощью предложенного метода.

  2. Выполнить моделирование термомеханических характеристик пирометрических зондов типичной конструкции с учетом особенностей телевизионных пирометрических измерений и экстремальных условий эксплуатации.

  3. Разработать и изготовить стенд, программное обеспечение для проведения экспериментальных исследований характеристик пирометрических зондов, погрешностей метода измерений температуры и тепловой структуры пламени.

  4. Выполнить статистический анализ полученного массива экспериментальных данных, провести ранжирование факторов, влияющих на процесс измерения яркостной температуры и построить модель регрессии.

Методы исследования. Для изготовления профилей пирометрических SiC и МоБіг-зондов применялись эрозионные методы (электроэрозия в жидком диэлектрике по методу вырезания нитевидным электродом и по принципу прошивания, лазерная сложноконтурная резка) и методы химического травления.

Исследование качества тестовых структур и лабораторных образцов пирометрических зондов проводилось методами металлографии на базе телевизионного микроскопа с компьютерной обработкой изображения, поляризационными и теневым методом (метод Тендера), и растровой электронной микроскопией. Электрофизические свойства кристаллов SiC оценивались с помощью измерений эффекта Холла и электропроводности. Использовались математические методы расчета и статистической обработки экспериментальных данных с применением ЭВМ.

Научная новизна: 1. В рамках телевизионной пирометрии разработан и экспериментально апробирован метод визуализации тепловой структуры и измерения температуры нагретых газовых потоков, реализующий принцип регулярных оптических меток.

  1. С использованием широкозонного полупроводникового материала - карбида кремния и дисилицида молибдена разработан и исследован новый класс зондов -пирометрические зонды. Предложены критерии выбора исходного материала, варианты конструкций зондов, адаптированных к условиям эксплуатации и особенностям измерений температуры.

  2. Предложена тепловая модель пирометрического зонда, позволяющая оценивать методическую погрешность измерения температуры газового потока с учетом особенностей теплообмена в широком диапазоне скоростей.

  3. Для типичных вариантов конструкций пирометрических зондов на основе карбида кремния и дисилицида молибдена построены модели и выполнено компьютерное моделирование температурных полей, результаты которых позволяют оценивать влияние геометрических размеров зондов, режимов газового потока на степень изотермичности излучающей площадки.

  4. Рассчитаны механические характеристики пирометрических зондов, позволившие оценить критические значения скорости набегающего газового потока, вызывающего механическое разрушение (слом) зонда как при продольном, так и поперечном обтекании.

  5. Исследована излучательная способность SiC - пирометрических зондов в диапазоне температур Т = 900 + 1300 С. Экспериментально установлено, что создание искусственной шероховатости в виде полости на излучающей площадке вызывает уменьшение монохроматического коэффициента излучательности SiC -пирометрического зонда.

  6. Впервые телевизионным методом получен яркостный контраст как одиночных сложнопрофильных малоразмерных изделий, так и кондуктивно связанных систем на основе широкозонных полупроводниковых материалов в экстремальных условиях эксплуатации.

  7. Экспериментально получены численные значения относительной погрешности измерения температуры газового пламени с помощью SiC - и MoSi2 — зондов. Выполнено ранжирование факторов, влияющих на яркостную температуру пирометрического зонда, построена статистическая модель и получено уравнение регрессии.

9. Экспериментальным методом с использованием многоэлементных SiC -зондов в
рамках телевизионной пирометрии получены мгновенные распределения
температуры, корелирующие с яркостным контрастом в характерных зонах

4 газового пламени.

Практическая ценность:

  1. Разработана методика измерения температуры нагретого газового потока с использованием одно- и многоэлементных пирометрических зондов.

  2. Предложены варианты конструкций и методы изготовления профилей SiC - и MoSi2 -пирометрических зондов.

  3. Разработана методика использования высокотемпературного клеящего цемента в технологии сборки пирометрических зондов.

  4. Разработано аппаратное и программное обеспечение, позволяющее реализовывать метод регулярных оптических меток.

Реализация в науке и технике: Результаты диссертационной работы апробированы и внедрены в ФГУП НИИ ПТ "РАСТР", в НовГУ им. Ярослава Мудрого в лекционных курсах "Сенсоры и сенсорные устройства", "Технология и конструирование микроэлектронных устройств" для студентов специальности "Микроэлектроника и твердотельная электроника ".

Научные положения, выносимые на защиту:

  1. Метод регулярных оптических меток, основанный на регистрации яркостного контраста тепловых микроизлучателей, позволяющий осуществлять визуализацию тепловой структуры и измерение распределения температур в выделенном сечении нагретого газового потока ( пламени).

  2. Класс пирометрических зондов в виде тепловых микроизлучателей, адаптированных к условиям исследуемого газового потока и технологии пирометрических измерений.

  3. Локальная излучательная способность монокристалла карбида кремния с искусственной шероховатостью в спектре на длине волны А. = 0.65 мкм определяется его толщиной.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались: на трех Всероссийских конференциях ("Современное телевидение", Москва 2004,2005,2006 г. г.), на одном Международном семинаре "Карбид кремния и родственные материалы", Новгород 2004 г., одной Научно-практической конференции профессорско-преподавательского состава НовГУ им. Я. Мудрого, Новгород 2005 г.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 16 научных работ, из них 6 статей, тезисы к 10 докладам на международных и российских научно-технических конференциях. Принята в печать монография.

5 Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех

Похожие диссертации на Пирометрические зонды на основе карбида кремния