Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами Кирюшина Ирина Васильевна

Данный автореферат диссертации должен поступить в библиотеки в ближайшее время
Уведомить о поступлении

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Кирюшина Ирина Васильевна. Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : Москва, 2003 196 c. РГБ ОД, 61:04-5/790-X

Похожие диссертации на Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами

Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкмДудников Анатолий Сергеевич

Исследование перспективных фотолитографических процессов с суб-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделированияИвин, Владимир Владимирович

Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроникиРадаев, Александр Анатольевич

Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изолятореКалугин Виктор Владимирович

Численные методы коррекции несобственных задач линейного программирования по минимуму полиэдральных норм и их применение в процессах обработки информацииБаркалова Оксана Сергеевна

Моделирование и управление процессом подготовки и подачи хлопка-сырца в производстваКамалов, Шахабиддин Зиявиддинович

Совершенствование методологии контроля и управления технологическими процессами подготовки воды на тепловых электростанцияхБелоконова Надежда Анатольевна

Практические аспекты озонолиза в процессе подготовки, переработки и применения нефти месторождения "Белый Тигр"То Ву Тхань Диен

Исследование взаимодействия валковой арматуры и прокатных валков с целью совершенствования технологической подготовки процесса прокатки сортовых профилейШварц Данил Леонидович

Повышение эффективности технологических процессов подготовки и раздачи кормов на фермах крупного рогатого скотаОвчинников, Александр Андреевич