Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Абрамова Елена Александровна. Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Воронеж, 2003.- 107 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/3384-3
