Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Скворцов, Альберт Матвеевич. Дефектообразование и технологии создания кремниевых подложек для интегральных схем вычислительной техники : диссертация ... доктора технических наук в форме науч. докл. : 05.13.05.- Санкт-Петербург, 1999.- 75 с.: ил. РГБ ОД, 71 00-5/645-6
