Введение к работе
Актуальность раооты. Особо чистые вещества играют исключительно важную роль во многих областях новейшей технологии, развитие которых определяет темпы и уровень научно-технического прогресса.
В последние годы успешно развиваются работы, проводимые в ИрИОХ СО РАН и Гос. НИИ "ИРКА по использовании кремнийэлемевтоор-ганических соединений в качестве исходного сырья при получении новых материалов для микроэлектроники и конструкционной керамики.
Нами совместно с сотрудниками ШШТІ (г. Зеленоград) предложен новый метод планарнзации (сглаживания) топологического рельефа при производстве интегральных микросхем с использованием триметил ал-коксисилаяов - кремнийзлементоорганических соединений с общей, формулой
Одним из условий использования триыетилалкоксисиланов в микроэлектронике являются повышенные требования к чистоте материалов. Содераняе органических примесей в триметилалкоксисиланах лимитируется физико-химическими особенностями процесса применения.и должно составлять не более I.I0"2 масс. %, а содержание металлов г .не. более І.І0"6 масс. %\ т.е. трииетилалкоксисиланы должны соответя ствовагь требованиям на другие особо чистые материалы, используемые в технологических процессах микроэлектроники. Исследования в области получения особо чистых триыетилалкоксисиланов до сих пор отсутствовали.
Цель работы. Разработаны физико-химические основы получения особо чистых триметилалкоксисиланов на основе исследования методов синтеза и глубокой очистки, а также, систематически, изучены физико-химические свойства целевых продуктов для моделирования и расчета технологических процессов.
-2.-
Научная нов;?вна.
Разрабоааа метод синтеза и выделения азеотропной перегонкой триметияалкоксисиланов общей формулой \tts)3oi№ t гДе A-CU^
получены ИК-| ЯМР-спекгры, масс-спектры синтезированных трмметилалкоксисиланов;
разработана методика газохроыатографического анализа указанных соединений на содераание органических примесей;
определены температурные зависимости физико-химических свойств триыетилалкоксисипанов: плотности, вязкости, поверхностного натяжения, упругости насыценных паров;
изучены равновесия жидкость - пар бинарных растворов исследуемых веществ j соответствующими спиртами, гексаыетилдисилазанои, гёксаметилдисилоксаном, аэеотропобразующими агентами;
- определены коэффициенты разделения равновесия жидкость. -пар для органических прииесей в области ыикроконцентраций;
- изучены гидродинамические и массообменные характеристики
процесса ректификации триыетилалкоксисиланов на насадочиых колонна
Практическая ценность* На основании комплекса исследований разработаны физико-химические основы получения особо чистых три-'Де.эдлалк.о*ссиеилааов для микроэлектроники. Проведены положительные /испытания партии особо чиег'х препаратов, Все работы проводились параллельно с испытаниями и научно-исследовательскими работами по использованию триметилалкоксисиланов, проводимыми в НІ1.1ІТ (г. Зеленоград).
*) Работы проводились в рамках Государственной научно-технической програмцы "Перспективные материалы" по направлению "Высокочистые вещества".
Публикации: по тече диссертации.опублшсовпю 5 чаучннх работ.
Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из беєдєнип, пяти глав и выводов. Она содержит ISO страниц маиинопиского текста, включая 53 рисунка, 46 таблиц, список литературы из 159 наименований.