Формирование силицидов железа и кобальта на поверхности чистого и окисленного монокристаллического кремния монокристаллического кремния Малыгин Денис Евгеньевич

Содержание к диссертации

страница 4

Введение к работе

Глава I ТВЕРДОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ СИЛИЦИДОВ ЖЕЛЕЗА И КОБАЛЬТА НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ).

1.1 Строение и свойства силицидов железа и кобальта.

1.2 Начальные стадии формирования силицидов железа на

поверхности кремния.
1.3 Начальные стадии формирования силицидов кобальта на

кремнии.

1.4

1.5 Глава II

2.1

Формирование силицидов железа и кобальта на окисленном кремнии

Выводы из обзора и постановка задачи исследования. ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.

Фотоэлектронная спектроскопия остовных уровней высокого энергетического разрешения.

2.2 Экспериментальные установки и методика измерений.

2.3 Методика обработки спектров.

Похожие диссертации на Формирование силицидов железа и кобальта на поверхности чистого и окисленного монокристаллического кремния монокристаллического кремния

Исследование элементного и химического состава поверхности кремния и его соединений методами электронной спектроскопии Коваль Игорь Филиппович

Исследование взаимодействия висмута с поверхностью кремния (001)Пятницкий, Максим Юрьевич

Электронное строение и энергетический спектр поверхности диоксида кремния, модифицированного ионами 3d- и 4d- элементовПерминов Владимир Николаевич

Формирование пленок и эпитаксиальных слоев кремния на сапфировых подложках при осаждении из ионно-молекулярных потоковАшуров, Хатам Бахронович

Механизмы формирования и физико-химические свойства пленочных структур редкоземельный металл - кремний Si(III)Кузьмин, Михаил Валерьевич

Вторичная эмиссия комплексных ионов примесь-матрица из легированного кремния Гурьянов Георгий Маркович

Исследование процессов радиационной деградации и низкотемпературного отжига в фотопреобразователях на основе кремния n-типа, легированных литиемЩербаков, Юрий Викторович

Количественный электронно-зондовый анализ легирующих примесей в приповерхностных слоях кремнияАлексеев, Андрей Петрович

Кратковременно ускоренное испарение примесей из ионно-легированных слоев кремнияКагадей, Валерий Алексеевич

Исследование образования отрицательно-ионных и нейтральных кластеров пр распылении карбида кремния и щек.... цезияАбдуллаев, Аскар Хусинович