Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования Филачев, Анатолий Михайлович

Введение к работе

ава 1. Состояние проблемы и .

ава 2. Компьютерное моделирование электронных пучков в ЭЛТУ.

1. Моделирование электронных пушек.

2. Моделирование осеснмметричных фокусирующих магнитных тей.

3. Моделирование полей отклоняющих магнитных систем.

4. Некоторые особенности вычислительных алгоритмов .

5. Назначение и возможности пакета прикладных программ HARGE".

6. Результаты численных экспериментов.

ава 3. Теоретические и экспериментальные исследования электронных эцессов в диэлектриках при обработке их поверхности электронным

ЇКОМ.

3.1. Физическая модель электронно-лучевой обработки
электриков.

2. Экспериментальное оборудование.

3. Экспериментальные исследования явлений, возникающих при :ктронно-лучевой обработке поверхностей диэлектриков.

4. Анализ экспериментальных результатов.

ава 4. Новые принципы и устройства для компьютерного управления дологическими процессами в ЭЛУ.

ава 5. Разработка электронно-лучевого технологического эрудования нового поколения.

1. Электронно-лучевая установка для прецизионной обработки по эжньш контурам.

2. Мобильный радиационно-технологический комплекс.

3. Электронно-лучевая установка для отжига полупроводниковых териалов.

ключение.

Похожие диссертации на Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования

Влияние объемного заряда на процессы формирования сильноточных электронных пучков и их взаимодействия с электромагнитными полямиПегель, Игорь Валериевич

Исследование процессов релаксации нелинейных ленгмюровских колебаний большой амплитуды с использованием методов компьютерного моделированияКоваленко, Артем Витальевич

Исследование процессов кратного рассеяния и каналирования ионов и образования атомов отдачи на поверхности и в тонких кристаллах методом моделирования на ЭВМУмаров, Фарид Фахриевич

Экспериментальные исследования и моделирование автоэлектронной эмиссии из синтезированных тонких углеродных нанокластерных пленокТоргашов Илья Геннадьевич

Численное моделирование процессов при взаимодействии ионов с тонкими монокристаллическими пленкамиНегребецкая, Наталья Николаевна

Моделирование процессов в реверсивной области циклотронного преобразователя энергииПеклевский, Андрей Викторович

Моделирование процесса зарядки пылевой частицы и установления межчастичного расстояния в плазме низкого давленияШелестов Александр Сергеевич

Численное моделирование физических процессов в осе-симметричных электронно-лучевых приборахГлумова, Марина Всеволодовна

Моделирование физических процессов и методы расчета газоразрядных лазеров на атомарных, ионных и молекулярных переходах Мольков Сергей Иванович

Исследование процессов формирования зарядовых состояний при рассеянии ионов аргона и неона от поликристаллических металлов 5 и 6 периодовАбдулкасымов, Фаридун Бадырович