Введение к работе
АКТУАЛШ552Ь__ТЕ5И. Развитый в последнее тридцатилетие
ГОД рвНТГеКОВСКОЙ СТОЯЧеЙ ВОЛНЫ (МСРВ), КОТОРЫЙ OCKORSK на
тистрации угловых зависимостей выхода различных вторичных
эцессов (например-флпоресценцяи, фотоэлектронной эмиссии и
.) в условиях дифракции рентгеновского излучения, приобрел
кное значение в исследовании структур полупроводниковых
териалов- кремния, герлания, соединений А3 В5 . диэлектри -
сккх материалов квантовой электроники- кристаллов гранатов.
Начиная с 1984 г. получили развитие новые модификации
ого метода, заключающиеся в регистрации угловых зависимостей
хода флюоресценции при полном внешнем отражении
ктгеноЕского излучения. Волновое толе, которое возникает в
ом случае представляет собой стоячую волну с изменяющимся
риодом (гак называемую, длиннопериодную стоячую волну)
среде с низкой электронной плотность*), а в -среде с высокой
ютностью- экспоненциально затухающую (эванесцентнуп) волну.
Возбудденная эванесцентной волной флюоресценция бала
яменена для структурных ксследоаедга» границ раздела гидкий
іствср-воздух,приповерхностных сл&е» гш^гароБодников.В 1988 г.
ти впервые использованы измерения флюоресценции возбувденной
тиннопериодной стоячей волной.
В последние ' года интенсивно развивается рентгеновская
ггака- в частности, благодаря появлению многослойных
штетичвских микроструктур (МСМ), использующихся в качество
энтгеновских зеркал. Многослойные зеркала обладают рядом
реимущаств перед отражательными элементами оптики скользящего
-I-
падения и начали применяться для визуализации космической плазмы и плазмы искусственного происхождения.
Перспективны многослойные зеркала и для использования і рентгеловских лазорах. рентгеновской литографии, рентгенофлю ресцентном 81. :лизе.
Кроме применения в рентгеновских телескопах, МСМ наход приложение в создавеишх несколько последних лет рентгеновск микроскопах, .іюзволлкщіес исследовать с высоким разрешени живые биологические объекты. Селективность поглоще: рентгеновского излучения позволяет установить распределен химических элементов внутри клеток.
Интересны МСМ и с точки зрения физики твердого тел поскольку они представляют наборы чередующихся сверхтонк пленок обладающих аномальными физическими свойством свойствами отличними от таковых же в объеме (напряме электропроводность и т.д.).
Для получения влсокосовершепных МСМ требуется развита методов исследования их структуры. До настоящего време практически отсутствуют работы по определеіппз конкретн структурных и иных параметров многослойных синтэтическ микроструктур с помощью возбуждения рентгеновских волнов полей. Поэтому постановка указанной задачи являет актуальной.
Развивапаяся ча базе многослойных структур Лэнгмюр -Блодкегт молекулярная электроника достигло определен)! успехов. Совершенствование . молекулярной технологии так требует информации о структуре синтезируемых объектов. Большую роль в получении этой информации могут сыграть исследования с помощью возбузданкя рентгеновских волновых
-г-
полей, поскольку длиннопериодаыэ стоячие волны, геиерируемив при полном внешнем отражении,и стоячие волны,генерируемые при дифракции рентгеновского излучения на многослойных синтетических микроструктурах могут служить измерительными инструментами молекулярного масштабе.
ЦМЬ_РАБдТЫ - разработка методик использующих стоячие рентгеновские волны, возбуадаемые при дифракционном и полном внешнем отражении рентгеновского излучения для нахождения структурных и других параметров многослойных синтетических и молекулярных систем.
ШЖДЗ_НОВШНА_РАБОТа
1. Предложен новый метод определения толщин и плотностей
сверхтонких твердотельных пленок с помощью возбуждения
рентгеновских волновых полей в условиях дифракции и полного
внешнего отрааэния на многослойной синтетической
микроструктуре.
2. С помощью регистрации флюоресценции' тяжелых атомов
впервые показано образование волнового поля при полном внешнем
отражении рентгеновского излучения от многослойных структур
Лэнгмюра- Блодаэтт.
3. Впервые изучено распределение ионов металла в многоком
понентной молекулярной структуре с помощью флюоресцентных
измерений при полном внешнем отражении рентгеновского
излучения.
4. Для нахождения параметров сверхтонкой периодической
молекулярной структуры Лэнгмюра-Блоджетт впервые использована
стоячая волна генерированная многослойным рентгеновским
зеркалом в дифракционных условиях.
ПРАКТИ^КАЯ_1ШН0СТЬ_РАЕОТЫ
1. Развитый метод определения толщин ,и плотностей
сверхтонких пленок представляет интерес для отраОотки спосоОов
синтеза пленок и многослойных рентгеновских зеркал.
2. Предлог^нные методики исследования пленок Лэнгмпра-
-Блодаэтт с помощью возОуадения рентгеновских волновых полей
могут быть полезны для совершенствования технологии элементов
молекулярной электроники.
СТРТОТ№А_И_ОБТМ_ССЕРТАЦЖ. Диссертация состоит во 4 глав, введения и выводов. Объем диссертации 137 страшщ , включая 30 рисунков и список литературы из 95 найменований.
ЩБЛИКЯЩ. По теме диссертации опубликовано 2 печатные работы.
АЛРОБЫЩЯ JPABOTbj. Основные результаты докладывались на конференциях:
-
3-е Всесоюзное совещание по Ыежвузовской комплексной программе "Рентген".- Ереван. IS89
-
4- International conference on synchrotron radiation Instrumentation.-Cheater,Great Britain,July 15-19,1991
-
2- International conference on surface X-ray end neutron scattering.-Bad Honnef.Germany,June 25-28,1991,
a raicsa .sa научных семинарах Института кристаллограф л Ail СССР
_4-
