Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Исследование и разработка методов расширения рабочего диапазона и улучшения характеристик микромеханических датчиков угловой скорости Тимошенков, Алексей Сергеевич

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Тимошенков, Алексей Сергеевич. Исследование и разработка методов расширения рабочего диапазона и улучшения характеристик микромеханических датчиков угловой скорости : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Тимошенков Алексей Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ].- Москва, 2012.- 151 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/1859

Введение к работе

Актуальность темы диссертации.

Одним из важнейших направлений развития микросистемной техники является разработка микромеханических датчиков и систем на их основе (МЭМС). Использование при создании этих устройств материа-ловедческой и технологической базы современной твердотельной микроэлектроники позволяет обеспечить малые габариты и вес, высокую надежность и низкую стоимость микромеханических датчиков.

Приборы, выполненные по МЭМС-технологии, имеют встроенные элементы управления и обработки информации, малое потребление энергии, большую устойчивость к внешним воздействиям. При производстве инерциальных микромеханических датчиков применяют монокристаллический и поликристаллический кремний, плавленый кварц, различные стекла, пьезокристаллы и.т.д. Одним из наиболее перспективных материалов для изготовления чувствительных элементов микромеханических датчиков является монокристаллический кремний. Благодаря этому возможна более глубокая интеграция электронных и механических элементов и их совместимость с широко применяемой микроэлектронной технологией.

Достигнутый в микромеханических инерциальных датчиках уровень тактико-технических характеристик открыл пути внедрения последних в те области техники, где ранее (по экономическим соображениям и техническим параметрам) их применение было неприемлемо. Микромеханические датчики угловой скорости (ДУС) и акселерометры на основе МЭМС начинают применяться в интегрированных системах ориентации и навигации объектов различного назначения, замещая и дополняя более точные и дорогие приборы, например волоконно-оптические гироскопы. Чаще всего это происходит с целью минимизировать массу и габариты, или удешевить инерциальную систему ориентации или навигации. Однако рабочий диапазон и некоторые параметры таких датчиков не в полной мере удовлетворяют потребностям современной техники, поэтому тема диссертационной работы является актуальной, своевременной и очень востребованной.

Основной целью диссертационной работы является разработка методов расширения рабочего диапазона и улучшения характеристик микромеханических датчиков угловой скорости.

Научная новизна работы заключается в следующем:

  1. Исследован процесс управления колебаниями кольцевого резонатора и вьщеления полезного сигнала угловой скорости; установлено, что диапазон измерения обратно пропорционален амплитуде основного колебательного контура.

  2. Предложена математическая модель выходного сигнала преобразователя угловой скорости, учитывающая действия ускорений и случайных составляющих.

  3. Разработаны новые методики измерения основных параметров датчиков угловой скорости, позволяющие за один цикл испытаний в автоматическом режиме определить статическую характеристику, долговременный дрейф, частотный диапазон и стабильность ДУС от включения к включению. Для вычисления случайных составляющих выходного сигнала и разделения их по типам (белый шум, тренд, нестабильность) использован метод вариации Аллана.

  4. Исследована зависимость выходного сигнала ДУС от ускорений, действующих вдоль и перпендикулярно измерительной оси. Установлено, что зависимость имеет линейный вид.

Практическая значимость работы:

  1. Предложен новый метод настройки электронной схемы обработки сигнала микромеханического резонатора, обеспечивающий возможность регулировки диапазона измерения в пределах двух порядков, а также полосы пропускания ДУС в пределах одного порядка. Метод заключается во взаимной регулировке амплитуды колебаний основного колебательного контура и глубины обратной связи контура подавления вторичных (перекрёстных) колебаний.

  2. Созданы комплекты конструкторской и технологической документации (с присвоением литеры «О») на преобразователи угловой скорости серии ММГК, позволившие изготовить линейку датчиков с различными диапазонами измерения, высокой чувствительностью и заданным частотным диапазоном (0..75 Гц).

  3. Разработаны и изготовлены стенды с соответствующим аппаратным и программно-алгоритмическим обеспечением, позволяющие в автоматизированном режиме проводить испытания и производить измерения основных параметров датчиков угловой скорости;

  4. Разработаны и изготовлены ДУС с расширенным рабочим диапазоном, до ±10 000 градусов в секунду с нелинейностью масштабного коэффициента менее 0.3 %.

  1. Результаты диссертационной работы востребованы и используются в совместной работе МИЭТ и ФГУП «КБМ» г. Коломна по созданию датчика крена, а также в работах с ОАО МНПК «АВИОНИКА» г. Москва, что подтверждается актом внедрения.

  2. Разработанные методики, теоретические положения, экспериментальные образцы ДУС, и результаты их исследований использованы в учебном процессе МИЭТ в читаемом на факультете ЭТМО курсе «Испытание микросистем», при подготовке дипломных проектов по специальности 210202 65 «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств», а также при разработке учебно-методического комплекса «Контроль и испытание микросистем», «Прикладная математика в обработке эксперимента».

На защиту выносится:

  1. Математическая модель выходного сигнала датчика угловой скорости, учитывающая влияние ускорения и случайные составляющие выходного сигнала.

  2. Разработанные методики испытаний, аппаратное и программно-алгоритмическое обеспечение стендов, которые позволяют автоматизировать процесс проведения испытаний и исследовать основные параметры преобразователей линейных ускорений.

  3. Метод настройки схемы управления кольцевого резонатора ДУС, позволяющий за счёт регулировки амплитуды колебаний первичного колебательного контура и глубины обратной связи контура подавления варьировать масштабный коэффициент в пределах двух порядков, сохраняя приемлемые шумовые характеристики.

  4. Новые конструкции ДУС, обладающие расширенным диапазоном измерения (до 10000 7с) и полосой пропускания (до 100 Гц.)

Апробация работы

Основные положения и результаты, представленные в диссертационной работе, докладывались и обсуждались на семинарах и конференциях:

  1. Научная школа и конференция «Первые Московские чтения по проблемам прочности материалов», ЦНИИчермет им. И.П.Бардина, 2009г.

  2. Международная конференция «Кремний 2009», г. Новосибирск, ННЦ.

  1. 17-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2010», Москва, МИЭТ.

  2. 18-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2011», Москва, МИЭТ.

  3. 2-я международная конференция SPACE WORLD в рамках международного аэрокосмического форума, Франкфурт на Майне 2011г.

Личный вклад автора заключается в участии в постановке целей и задач исследования, разработке алгоритмов и ПО проведения испытаний ДУС, создании и отладки схемы возбуждения и обработки сигнала. Автором предложено и обосновано несколько новых сфер применения ДУС. Обсуждение и анализ полученных теоретических и экспериментальных результатов проводились совместно с научным руководителем и соавторами публикаций. Основные выводы по проведенной работе сформулированы автором.

Публикации

По материалам, изложенным в диссертации, опубликовано 9 работ, включая статьи в периодических изданиях, среди них 3 статьи в изданиях, рекомендованных ВАК РФ.

Результаты работы использовались при выполнении 2-х НИР и 2 ОКР (в том числе по договору №13X25.31.0098/2557 от 22.10.11г.).

Объем и структура работы

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы, приложений. Материал диссертации изложен на 152 страницах машинописного текста, включая 67 рисунков и 19 таблиц. Список литературы состоит из 103 наименований.

Похожие диссертации на Исследование и разработка методов расширения рабочего диапазона и улучшения характеристик микромеханических датчиков угловой скорости