Введение к работе
Актуальность темы. Возможность получения химически активні,-/, частиц в плазме при ДПО обеспечивает увеличение скорости процесса осаждения, которое в отсутствие такой активации происходил бы при той же температуре недопустимо медленно, а в некоторых случаях вообще бы осаждения не произошло. По мере возрастания понимания механизма процесса осаадекия при ДПО, происходящего за счет рзесирения использования диагностики плазмы и разработки новых технологических режимов, а также увеличения интереса к методу ДПО, расширяются возможности создания новых материалов.
Цель работы. Целью работы является разработка и исследование процесса осаждения диэлектрических покрытий
оксида креьяия и оксида олова методом ДПО с использованием эяементосрганических соединений (ЭОС) при атмосферном давлении и создание альтернативного метода формирования изолирующих слоев в технологии твердотельной электроники, лазерной оптике, машиностроении.
Решаемые задачи. Для реализации поставленной цели в данной работе решались следующие задачи:
анализ существующих методов ссаэдения диэлектрических слоев в технологии твердотельной электроники и формулировка требований к разрабатываемому процессу;
разработка режимов осаздения тонкой диэлектрической пленки оксида кремния и проводящей пленки оксида олова
на подложки из разных материалов методом ДПО;
разработка методики оптимизации параметров воздействия плазму на подложки из базовых материалов при оеагдекии пленок с заданными свойствами и составом;
создание испарителя для ЭОС;
исследование физико-химических и электрофизических параметров пленок, полученных методом НПО.
Научная новизна. Разработан новый метод формирования пленок потоком плазмы при атмосферном давлении - осаждение методом ДПО. Получен ряд принципиально новых научных сведений о процессе образования слоев под воздействием плазмы атмосферного давления. Предложена модель механизма осаадения пленок SiOo. Разработаны технологические режимы нанесения пленок с заданными свойствами.
С помощью комплекса прецизионных методов анализа изучены свойства пленок. Исследована и разработана методика
оптимизации физико-химических параметров пленок оксидов кремния и олова.
Практическая ценность. Разработанный метод ДПО осаждения пленок на поверхность твердых тел мозет быть использоьан в технологии изготовления интегральных микросхем, дискретных полупроводниковых приооров, оптоэлектронных устройств.
Ка защиту выносятся следующие основные положения:
-
Составы и методы подачи реагентов в зону реакции.
-
Конструкция испарителя для подачи рабочего соединения.
3. Режимы осаждения пленочных покрытий методом ДПО на
подложки из разных материалов.
-
Модель процесса осакдения пленки оксида кремния методом ДІЮ.
-
Результаты исследования физико-химических и электрофизических сг.оЯств диэлектрических пленок SlOp и проводящих пленок SnOp, получанных методом ДПО.
Апробация работы и публикации. Результаты диссертационной работы внедрены на предприятии НПО "Астрофизика" в технологии осаждения многослойных интерференционных зеркал. Экономический эффект составил 95 тыс.рублей в год.
Результаты, полученные в процессе работы, докладывались на ІХ-ОМ научно-техническом совещании "Материалы к новые технологические процессы в микроэлектронике", Киев, 1983 г.; Всесоюзной конференции "Перспективы применения плазменных технологий в металлургми и машиностроении", Челябинск, 1938г; XI-ой Всесоюзной конференции по генераторам низкотемпературной плазмы, Новосибирск, 1983 г.; 1-ом Всесоюзном симпозиуме
по радиационной плазмодинамике, Москва, 1989 г.; Международном симпозиуме по пяазмохимии, Италия, Пугночузо, 19S9 г.; Межотраслевом научно-техническом семинаре "Физические основы и новые направления плазменной технологии в микроэлектронике", Харькоз, 1989 Г.; Всесопзнои конференции "Топкие пленки в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем", Махачкала. 1S90 г.
Результаты работы защищены і-i.-s. положительными решениями ВШТПЭ по заявка?.! на изобретения, изложены з 2-х отчетах по НИР, 7-ій тезисах докладов на конференциях, 5-ти статьях.
