Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Саркаров Таджидин Экберович. Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных систем для интегральной электроники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01.- Махачкала, 2002.- 272 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-5/246-7
