Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Многокомпонентные нанокомпозиты на основе SnO2:Y2O3,SnO2:SiO2 и их электрофизические и газочувствительные свойства Русских, Елена Алексеевна

Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Русских, Елена Алексеевна. Многокомпонентные нанокомпозиты на основе SnO2:Y2O3,SnO2:SiO2 и их электрофизические и газочувствительные свойства : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Русских Елена Алексеевна; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т].- Воронеж, 2013.- 137 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1487

Введение к работе

Актуальность темы. Нанокомпозиты на основе диоксида олова являются перспективными материалами газочувствительной сенсорики, их можно использовать в качестве сенсорных элементов датчиков газов для мониторинга окружающей среды, обнаружения токсичных и взрывоопасных газов, в медицине и других областях обеспечения безопасной жизнедеятельности человека. Принцип работы таких сенсоров основан на чувствительности электрофизических свойств поверхности полупроводника к составу окружающей атмосферы. Для исследования окружающей среды чаще всего используются относительно дешевые, малогабаритные, но при этом обладающие высокой чувствительностью полупроводниковые датчики газов. Мировые производители (Rilken Keiki, Nippon Monitors, Figaro, Taguchi и др.) занимаются исследованиями, разработкой и производством сенсоров такого типа. Серийно выпускаемые в мире сенсоры изготавливают в основном по толстопленочной технологии на основе керамики. Недостатками таких датчиков являются: необходимость нагрева до высоких температур порядка 500 оС при определении газовой чувствительности и для десорбции газов; недостаточная селективность к различным газам; дрейф электрических параметров сенсорных слоев при длительном хранении на воздухе - это ограничивает их использование для контроля легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов.

Известно, что величиной газовой чувствительности можно управлять за счет изменений размеров зерен поликристалла и исходной электропроводности пленок. Уменьшение размеров зерен приводит к тому, что увеличивается вклад поверхности поликристаллов в общую электропроводность образца. Кроме того, повышение поверхностной активности наноразмерных поликристаллов может привести не только к увеличению их газовой чувствительности, но и к снижению энергетического порога реакции ионов газов с поверхностными состояниями, то есть к уменьшению температуры максимальной чувствительности пленки к различным газам в воздухе.

Для повышения селективности в состав полупроводникового чувствительного элемента вводят легирующий материал - металл, полупроводник, диэлектрик или их соединения. При этом легирующий материал обеспечивает увеличение концентрации групп ионов, более активно взаимодействующих с контролируемым газом. Улучшение газочувствительных свойств полупроводниковых тонких пленок и использование их в качестве чувствительных слоев для датчиков газа и является на сегодняшний день актуальным направлением в исследовании материалов.

В работе рассмотрены условия получения новых перспективных нанокомпозитов на основе газочувствительных металлооксид- ных элементов SnO2 и Y2O3, которые не образуют между собой химических соединений. Оксид иттрия будет препятствовать росту больших зерен SnO2 при термообработке. Нанокомпозиты SnO2 : Y2O3 могут проявлять повышенную активность поверхностных состояний, что улучшит газочувствительные свойства пленок. Ранее было установлено, что у нанокомпозитов SnO2 : SiO2 с 1 ат.% Si улучшаются газочувствительные свойства SnO2, поэтому для работы были выбраны тестовые структуры датчиков газа на их основе, удобные для исследования вольт-амперных характеристик (В АХ).

Цель работы заключалась в синтезе и исследовании пленок- нанокомпозитов на основе SnO2 с оксидами иттрия и кремния для получения материалов с наименьшим размером зерна и исследовании газочувствительных свойств тестовых структур датчиков газов с использованием вольт-амперных характеристик.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

  1. выбрать методику изготовления пленок-композитов с различным содержанием SnO2 и Y2O3;

  2. определить состав и структуру тонких пленок на основе диоксида олова методами рентгеновского микроанализа, атомно- силовой микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии;

  3. исследовать влияние температурной обработки тонких пленок-композитов SnO2 : Y2O3 на их структуру и стабилизацию электрических параметров, исследовать электрофизические свойства пленок с различным содержанием примеси иттрия;

  4. исследовать газовую чувствительность пленок-композитов SnO2 : Y2O3 с различным содержанием иттрия к парам различных газов в воздухе;

  5. исследовать механизмы протекания тока и реакционную способность чувствительных слоев тестовых структур микроэлектронных датчиков газа на основе SnO2 : SiO2 с использованием вольт-амперных характеристик;

6) исследовать газовую чувствительность тестовых структур микроэлектронных датчиков газа с использованием вольт-амперных характеристик.

Объектами исследований служили тонкие пленки SnO2 : Y2O3 с содержанием примеси иттрия до 6 ат.%, изготовленные методом ионно-лучевого распыления, а также тестовые структуры микроэлектронных датчиков газов на основе SnO2 : SiO2 (1 % Si), изготовленные методом реактивного магнетронного распыления олова на постоянном токе.

Научная новизна работы

    1. Установлены режимы изотермического отжига, необходимые для образования нанокристаллов с размером зерен от 5 до 10 нм в пленках-композитах на основе SnO2 с добавками оксида иттрия (Т = 400 С, t > 2 ч.).

    2. Определены состав и морфология пленок-композитов SnO2 : Y2O3 с различным содержанием примеси иттрия, изготовленных методом реактивного ионно-лучевого распыления. Установлено, что с увеличением примеси иттрия от 0,36 ат.% до 6 ат.% в композите SnO2 : Y2O3 размер зерна уменьшается от 40 нм до 5 нм соответственно.

    3. Уменьшение размера зерна в композите SnO2 : Y2O3 приводит к снижению температуры максимальной газовой чувствительности к парам этанола, ацетона, формальдегида и изопропилового спирта на несколько десятков градусов Цельсия.

    4. Определен характер температурных зависимостей газовой чувствительности тестовых структур датчиков газа на основе SnO2 : SiO2 с помощью вольт-амперных характеристик. Показано, что максимальная газовая чувствительность к парам этанола наблюдается при температуре 150 оС. Эта температура на 200 оС меньше, чем температура максимальной газовой чувствительности датчика, определенная по измерению сопротивления чувствительного элемента в парах исследуемого газа.

    Практическая значимость работы

    1. Новые данные об электрофизических и газочувствительных свойствах пленок-композитов на основе диоксида олова в зависимости от их состава могут быть использованы для улучшения газочувствительных параметров датчиков газов и снижения их потребляемой мощности.

    2. Предложена методика определения газовой чувствительности по измерению вольт-амперных характеристик тестовых структур датчиков газа SnO2 : SiO2 с Pt-контактами.

    Основные положения, выносимые на защиту

        1. В нанокомпозите на основе диоксида олова с добавкой оксида иттрия в количестве до 6 ат. % размер зерна уменьшается от 40 до 5 нм с ростом концентрации иттрия.

        2. Температура максимальной газовой чувствительности у пленок-нанокомпозитов SnO2 : Y2O3 к парам этанола, ацетона, изо- пропилового спирта и формальдегида в воздухе по сравнению с нелегированной пленкой SnO2 уменьшается на несколько десятков градусов Цельсия.

        3. Механизм газовой чувствительности пленок-композитов SnO2 : Y2O3 при взаимодействии с этанолом, ацетоном, формальдегидом и изопропиловым спиртом в воздухе описывается моделью ультрамалых частиц для пленок-композитов с размером зерна меньшим, чем удвоенная дебаевская длина экранирования.

        4. Из измерений ВАХ тестовых структур датчиков газа на основе SnO2 : SiO2 с Pt-контактами установлено, что температура максимальной газовой чувствительности к парам этанола на 200 0С ниже, чем температура максимальной газовой чувствительности тестовых структур датчиков газа, определенная по измерению сопротивления чувствительного элемента.

        Апробация работы

        Основные результаты работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях и семинарах: ежегодных научно- технических конференциях профессорско-преподавательского состава, аспирантов и студентов ФГБОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет» (Воронеж, 2006 - 2009); 37 Международном научно - методическом семинаре "Шумовые и де- градационные процессы в полупроводниковых приборах" (Москва, 2006); VI Всероссийской школе-конференции «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении (индустрия наносистем и материалы) (Воронеж, 2007, 2008); VII, VIII, IX Международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии» (Кисловодск, 2007 - 2009); Международной научной конференции «Актуальные проблемы физики твердого тела» (Минск, 2007 - 2009); VII Международной научно-практической конференции «Технические средства противодействия террористическим и криминальным взрывам» (Санкт- Петербург, 2011); II Всероссийской научно-практической конференции с международным участием «Пожарная безопасность: проблемы и перспективы» (Воронеж, 2011); Международной научно- практической конференции молодых ученых и специалистов «Проблемы техносферной безопасности - 2012» (Москва, 2012); III Все- росийской научно-практической интернет-конференции курсантов, слушателей, студентов и молодых ученых с международным участием (Воронеж, 2012).

        Публикации

        По материалам диссертации опубликованы 30 научные работы, в том числе 3 - в изданиях, рекомендованных ВАК РФ. В работах, опубликованных в соавторстве и приведенных в конце автореферата, лично соискателем выполнены: [3, 5 - 11, 13, 14, 16, 17, 19, 20] исследования электрофизических и газочувствительных свойств нанокомпозитов SnO2 : Y2O3, морфологии и размера зерна пленок, обработка и аппроксимация результатов измерений при помощи персонального компьютера (ПК); [23 - 28, 30] исследования электрофизических и газочувствительных свойств тестовых структур датчика газа с использованием вольт-амперных характеристик.

        Структура и объем работы

        Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы из 104 наименований. Основная часть работы изложена на 137 страницах, содержит 4 таблицы и 64 рисунка.

        Работа выполнялась по плану работ ГБ 2004.34 «Исследование полупроводниковых материалов (Si, А3В5, A4B62), приборов и технологии их изготовления» (№ г.р. 0120.0412888) и РФФИ 07-0292102 ГФЕН_а «Синтез и влияние структуры поверхности на газочувствительные свойства тонкопленочных нанокомпозитов на основе SnO2» (№ г. р. 0120.0851343), РФФИ 08-02-99005-р_офи «Микроэлектронный датчик и индикатор токсичных и взрывоопасных газов на его основе» (№ г. р. 0120,0851345), РФФИ 12-02-91373- СТ_а «Физические свойства нанокомпозитных порошков и тонких пленок (SnO2)x(ZnO)1-x (x=0-1), синтезированных различными методами» (№ г.р. 0120.1263655).

        Похожие диссертации на Многокомпонентные нанокомпозиты на основе SnO2:Y2O3,SnO2:SiO2 и их электрофизические и газочувствительные свойства